影響化學氣相沉積法生產鍍膜玻璃質量的因素
1.安裝鍍膜反應器處的玻璃溫度。溫度低,膜層薄;溫度過高,沉積速率過慢,膜層稀疏,甚至出現針孔或氣泡,溫度合適時膜層質量最好。其原因是高溫時沉積速率對溫度不敏感,而在溫度適當時,沉積速率大增;低溫時,沉積速率又下降。
2.玻璃的拉引速度。玻璃拉引速度波動,會造成膜層厚度的波動,使膜層薄厚不均。為此,玻璃的拉引速度要控制平穩。
3.反應副產物及未反應物要及時排出,但排出速度要合理。排出速度過大,影響氣體物質在玻璃基片表面不能形成穩定的層流,造成膜層厚度不均,甚至不能成膜;當排出速度過小或沒有及時排除,反應副產物及未反應物將分解生成顆粒狀物質沉積在膜面上,造成瑕疵。
目前化學沉積法工業生產的產品,只開發利用在浮法玻璃上覆蓋一層牢固的My物質膜層,在理論上及技術上,在浮法玻璃上預先覆蓋一層具有某種功能的膜層,然后再覆蓋一層My物質膜層,這是完全可能的,這樣,化學沉積法就可生產出品種多樣、性能獨特、功能各異的新穎產品,前景廣闊。
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